財通證券-刻蝕設備行業報告：精雕細刻筑產業基石，國產刻蝕機未來可期-221109

　　刻蝕設備是重要性僅次于光刻機的半導體設備。http://www.hibor.com.cn【慧博投研資訊】刻蝕設備采購開支占設備采購開支總額的比例超過20%。http://www.hibor.com.cn（慧博投研資訊）此外，隨著多重掩膜和3D疊堆等集成電路技術加速滲透，刻蝕設備在半導體制造中的使用量和重要性不斷上升。

　　刻蝕設備具有較高的技術壁壘?？涛g機的運行需要多種子系統，零件，和技術的互相配合。此外，刻蝕設備有多種復雜技術路線，硅、介質、金屬刻蝕等不同工藝之間，技術原理和方法存在一定的差別。隨著集成電路結構不斷多層化，微縮化，刻蝕需要滿足的工藝指標不斷增多；設備研發需要大量的實驗數據和經驗積累，提高了行業的門檻，2021年行業TOP3占據91%的市場。

　　刻蝕設備市場規模大，國產替代需求強勁。疫情居家，新能源車，智能化等多重因素推動半導體需求持續上升，短期波動不改變長遠上升態勢。晶圓廠擴產帶動刻蝕設備及零件需求，2021年全球刻蝕設備市場規模已達199.2億美元，中國大陸2022年1-9月進口額達30.25億美元。國內企業與海外對手規模差距大，國內刻蝕設備市場仍主要被外企占據，隨著海外供應鏈日趨不穩定，國內晶圓廠對國產刻蝕設備的需求迫切，國產替代市場規模大。

　　刻蝕設備零件國產化率偏低，國產替代市場潛力大。目前國內半導體零部件國產化率只有25%?？涛g設備零件品類多，除金屬加工零件外，其他部件較為依賴進口，構成供應鏈不穩定因素。缺貨、斷供風險等多重因素疊加，國內設備企業自主可控意識提升，對國產零部件需求旺盛，有望助力刻蝕設備零部件企業實現規模技術雙重突破。

　　投資建議：在刻蝕設備方面，建議關注北方華創（002371.SZ）、中微公司（688012.SH）、屹唐股份（未上市）等有一定技術實力的設備企業；在上游零部件方面，建議關注富創精密（688409.SH），江豐電子（300666.SZ）、新萊應材（300260.SZ）、英杰電氣（(300820.SZ)、國力股份（688103.SH）、新松機器人（300024.SZ）、華卓精科（未上市）等。

　　風險提示：全球半導體市場步入下行周期，晶圓廠削減資本開支；貿易保護主義等因素導致國內晶圓廠擴產不及預期；設備和零部件企業研發進展可能不及預期